產(chǎn)品特點
– 根據(jù)CAD檔自動建模,自動規(guī)劃檢測路徑
– 微米級分辨率
– 檢測曝光精度,同時輸出開窗區(qū)尺寸,兼容檢測焊盤缺陷
核心技術
– 曝光區(qū)域精確定位和檢測技術
– 自動路徑規(guī)劃技術
– 高分辨率圖像的高速采集與處理技術
– 高精度平臺設計和控制技術
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